Volume 730 litri, idoneo per processi PECVD
Specifiche:
| Ingombro: | Armadio, 1650 mm x 2050 mm x 3200 mm |
| Camera: | Materiale: acciaio inossidabile Volume: 730 litri Misure: 900 mm x 900 mm x 900 mm |
| Regolazione dei gas: | Regolatore automatico di flusso (MFC, mass flow controller) |
| Pressione di processo: | da 1 a 100 Pa |
| Sistema RF: | 13,56 MHz con unità matching (sintonizzatore) RF ed elettrodo con raffreddamento liquido |
| Elementi di sicurezza: | Contatto induttivo codificato nella porta, arresto d’emergenza |
| Pannello di controllo: | IPC con schermo a colori, Siemens S7-SPS, software di visualizzazione ProTool Pro sotto ambiente Windows© |
| Utenze: | Energia elettrica: 400 V, (L1, L2, L3, N, P), 50 Hz Aria compressa: 6 bar, senza acqua ed olio Gas di processo: da 1 a 1,5 bar Potenza: max. 30 kW Acqua di raffreddemanto: da 2 a 3 bar, da 6 a 11 l/min. |
| Peso: | ca. 1000 kg, senza pompa di vuoto |
| Pompa di vuoto: | Sistema di pompe di vuoto |
| Certificazioni: | Conforme alle norme e regolazione valide nella CE |
Optional:
| Stampanti e Modem: | Stampante e modem per manutenzione e diagnostica a distanza |