Volume 80 litri, ideale per i processi PLASMACLEAN© ed ACTIPLAS©
Specifiche:
| Ingombro: | Armadio, 600 mm x 1900 mm x 800 mm |
| Camera dei processo: | Materiale: acciaio inossidabile Volume: 80 litri Misure: 400 mm x 400 mm x 500 mm |
| Regolazione di gas: | Da 2 a 4 regolatori automatico di flusso (MFC, mass flow controller) |
| Generatori plasma: | Alternativamente Sistema a microonde: elettrodo PE GIGATRON©, 0 a 1000 Watt. 2,45 GHz Sistema RF: 0 a 1200 Watt. 13,56 MHz, con unità matching (sintonizzatore) a RF Sistema LF: 0 a 1250 Watt, 40 a 300 kHz |
| Elementi di sicurezza: | Contatto induttivo codificato nella porta, arresto d’emergenza, interruttore di bassa pressione |
| Control di processo: | PLC, schermo (4 x 20 carattere), panello con tastiera, tutti i parametri necessari sono programmabili dall’utente |
| Utenze: | Energia elettrica: 400 V, (L1, L2, L3, N, P), 50 Hz Aria compressa: 6 bar, senza acqua ed olio Gas di processo: da 1 a 1,5 bar Potenza: max. 5,5 kW Acqua di raffreddamento: da 2 a 3 bar, 3 a 7 l/min. |
| Peso: | ca. 280 kg, senza pompa di vuoto |
| Pompa di vuoto: | Pompa di vuoto resistente agli agenti chimici, con olio PFPE |
| Certificazioni: | Conforme alle norme CE |
Optional:
| Tamburo rotativo: | Volume utile 14 litri |
| Unità di controllo PC: | Programma e software di visualizzazione in ambiente Windows® |
| Stampante e modem: | Stampante e modem per manutenzione e diagnostica a distanza |
| Misura del vuoto: | Sensore per misura del vuoto Baratrón |