Volume 45 litri, ideale per i processi PLASMACLEAN © ed ACTIPLAS ©
Specifiche
| Costruzione generale: | Armadio, 600 mm x 1900 mm x 800 mm |
| Camera del plasma: | Materiale: acciaio inossidabile Volume: 80 litri Misure: 400 mm x 400 mm x 500 mm |
| Regolazione di gas: | Da 2 a 4 regolatori automatico di flusso (MFC, mass flow controller) |
| Sistema d’alta frequenzia: | Alternativamente Sistema a microonde: elettrodo PE GIGATRON©, 0 a 1000 Watt. 2,45 GHz Sistema RF: 0 a 1200 Watt. 13,56 MHz, con unità matching (sintonizzatore) a RF Sistema LF: 0 a 1250 Watt, 40 a 300 kHz |
| Sicurezza: | Contatto induttivo montato sulla porta, arresto d’emergenza, vacuostato di controllo |
| Pannello di controllo: | PLC, schermo (4 x 20 caratteri), panello con tastiera |
| Utenze: | Energia elettrica: 400 V, (L1, L2, L3, N, P), 50 Hz Aria compressa: 6 bar, senza acqua ed olio Gas di processo: da 1 a 1,5 bar Potenza: max. 5,5 kW Acqua di raffreddamento: da 2 a 3 bar, 3 a 7 l/min |
| Peso: | ca. 280 kg, senza pompa di vuoto |
| Gruppo di pompaggio: | Pompa di vuoto resistente agli agenti chimici, con olio PFPE |
| Certificazioni: | Conforme alle norme CE |
Optional
| Buratto: | Volume utile 14 litri |
| Unità di controllo PC: | Programma e software di visualizzazione in ambiente Windows® |
| Stampante e modem: | Stampante e modem per manutenzione e telediagnostica |
| Misura del vuoto: | Test di misura del vuoto Baratrón |