Volume 80 litri, ideale per tutti i processi PECVD
Specifiche
| Ingombro: | Armadio, 1200 mm x 2000 mm x 950 mm |
| Camera di processo: | Materiale: acciaio inossidabile Volume: 80 litri Misure: 400 mm x 400 mm x 500 mm |
| Regolazione dei gas: | Regolatore automatico di flusso (MFC, mass flow controller) |
| Generatore plasma: | 13,56 MHz con unità matching (sintonizzatore) RF |
| Elementi di sicurezza: | Contatto induttivo codificato nella porta, arresto d’emergenza |
| Control di processo: | IPC con schermo a colori, Siemens S7-SPS, software di visualizzazione ProTool Pro sotto ambiente Windows© |
| Connessione: | Energia elettrica: 400 V, 32A, 50 Hz Aria compressa: 6 bar, senza acqua ed olio Gas di processo: 1 a 1,5 bar Potenza: max. 8,5 kW Acqua di raffredd: 2 a 3 bar, 6 a 11 l/min. |
| Peso: | ca. 360 kg, senza pompe di vuoto |
| Pompa di vuoto: | Sistema di pompe di vuoto |
| Certificazioni: | Conforme alle norme e regolazione valide nella CE |
Optional:
| Stampanti e Modem: | Stampante e modem per manutenzione e diagnostica a distanza |