Volume 45 litri, ideale per tutti i processi PECVD
Specifiche:
| Ingombro: | Armadio, 1200 mm x 2000 mm x 950 mm |
| Camera di processo: | Materiale: acciaio inossidabile Volume: 45 litri Misure: 350 mm x 300 mm x 430 mm |
| Regolazione dei gas: | Regolatore automatico di flusso (MFC, mass flow controller) |
| Sistema d’alta frequenzia: | 13,56 MHz con unità matching (sintonizzatore) RF |
| Elementi di sicurezza: | Contatto induttivo codificato nella porta, arresto d’emergenza |
| Controlli: | IPC con schermo a colori, Siemens S7-SPS, software di visualizzazione ProTool Pro sotto ambiente Windows© |
| Utenze: | Energia elettrica: 400 V, 16A, 50 Hz Aria compressa: 6 bar, senza acqua ed olio Gas di processo: 1 a 1,5 bar Potenza: max. 3,5 kW Acqua di raffredd: 2 a 3 bar, 1 a 3 l/min. |
| Peso: | ca. 240 kg, senza pompe di vuoto |
| Pompa di vuoto: | Sistema di pompe di vuoto |
| Certificazioni: | Conforme alle norme e regolazione valide nella CE |
Optional:
| Stampante e Modem: | Stampante e modem per manutenzione e diagnostico a distanza |