1212201363357Volume 730 litri, idoneo per processi PECVD

Specifiche:

Costruzione generale: Armadio, 1650 mm x 2050 mm x 3200 mm
Camera: Materiale: acciaio inossidabile Volume: 730 litri Misure: 900 mm x 900 mm x 900 mm
Regolazione dei gas: Regolatore automatico di flusso (MFC, mass flow controller)
Pressione di processo: da 1 a 100 Pa
RF Frequency: Elettrodo raffreddato ad acqua Generatore HF
Elementi di sicurezza: Contatto induttivo codificato nella porta, arresto d’emergenza
Control di processo: IPC con schermo a colori, Siemens S7-SPS, software di visualizzazione ProTool Pro sotto ambiente Windows©
Connessione: Energia elettrica: 400 V, (L1, L2, L3, N, P), 50 Hz Aria compressa: 6 bar, senza acqua ed olio Gas di processo: da 1 a 1,5 bar Potenza: max. 30 kW Acqua di raffreddemanto: da 2 a 3 bar, da 6 a 11 l/min.
Peso: ca. 1000 kg, senza pompa di vuoto
Pompa di vuoto: Sistema di pompe di vuoto
Sicurezza: Conforme alle norme e regolazione valide nella CE

Optional:

Stampanti e Modem: Stampante e modem per manutenzione e diagnostica a distanza

Documenti allegati:

Meccaniche_PECVD
Plasma Unit Type PORTA 900