1212201363138Volume 80 litri, ideale per i processi PLASMACLEAN© ed ACTIPLAS©

Specifiche:

Costruzione generale: Armadio, 600 mm x 1900 mm x 800 mm
Camera del plasma: Materiale: acciaio inossidabile Volume: 80 litri Misure: 400 mm x 400 mm x 500 mm
Regolazione di gas: Da 2 a 4 regolatori automatico di flusso (MFC, mass flow controller)
Sistema d’alta frequenzia: Alternativamente


Sistema a microonde: elettrodo PE GIGATRON©, 0 a 1000 Watt. 2,45 GHz


Sistema RF: 0 a 1200 Watt. 13,56 MHz, con unità matching (sintonizzatore) a RF


Sistema LF: 0 a 1250 Watt, 40 a 300 kHz

Elementi di sicurezza: Contatto induttivo codificato nella porta, arresto d’emergenza, interruttore di bassa pressione
Control di processo: PLC, schermo (4 x 20 carattere), panello con tastiera, tutti i parametri necessari sono programmabili dall’utente
Connessione: Energia elettrica: 400 V, (L1, L2, L3, N, P), 50 Hz Aria compressa: 6 bar, senza acqua ed olio Gas di processo: da 1 a 1,5 bar Potenza: max. 5,5 kW Acqua di raffreddamento: da 2 a 3 bar, 3 a 7 l/min.
Peso: ca. 280 kg, senza pompa di vuoto
Pompa di vuoto: Pompa di vuoto resistente agli agenti chimici, con olio PFPE
Sicurezza: Conforme alle norme CE

Optional:

Tamburo rotativo: Volume utile 14 litri
Unità di controllo PC: Programma e software di visualizzazione in ambiente Windows®
Stampante e modem: Stampante e modem per manutenzione e diagnostica a distanza
Misura del vuoto: Sensore per misura del vuoto Baratrón

Documenti allegati:

Meccaniche PECVD
Plasma Unit Type DOMINO