1212201363219Volume 45 litri, ideale per tutti i processi PECVD

Specifiche:

Costruzione generale: Armadio, 1200 mm x 2000 mm x 950 mm
Camera del plasma: Materiale: acciaio inossidabile Volume: 45 litri Misure: 350 mm x 300 mm x 430 mm
Regolazione di gas: Regolatore automatico di flusso (MFC, mass flow controller)
Sistema d’alta frequenzia: 13,56 MHz con unità matching (sintonizzatore) RF
Elementi di sicurezza: Contatto induttivo codificato nella porta, arresto d’emergenza
Control di processo: IPC con schermo a colori, Siemens S7-SPS, software di visualizzazione ProTool Pro sotto ambiente Windows©
Connessione: Energia elettrica: 400 V, 16A, 50 Hz Aria compressa: 6 bar, senza acqua ed olio Gas di processo: 1 a 1,5 bar Potenza: max. 3,5 kW Acqua di raffredd: 2 a 3 bar, 1 a 3 l/min.
Peso: ca. 240 kg, senza pompe di vuoto
Pompa di vuoto: Sistema di pompe di vuoto
Sicurezza: Conforme alle norme e regolazione valide nella CE

Optional:

Stampante e Modem: Stampante e modem per manutenzione e diagnostico a distanza

Documenti allegati:

Meccaniche PECVD
Plasma Unit Type CVD-PICCOLO