1212201363256Volume 80 litri, ideale per tutti i processi PECVD

Specifiche

Costruzione generale: Armadio, 1200 mm x 2000 mm x 950 mm
Camera del plasma: Materiale: acciaio inossidabile Volume: 80 litri Misure: 400 mm x 400 mm x 500 mm
Regolazione di gas: Regolatore automatico di flusso (MFC, mass flow controller)
Sistema d’alta frequenzia: 13,56 MHz con unità matching (sintonizzatore)  RF
Elementi di sicurezza: Contatto induttivo codificato nella porta, arresto d’emergenza
Control di processo: IPC con schermo a colori, Siemens S7-SPS, software di visualizzazione ProTool Pro sotto ambiente Windows©
Connessione: Energia elettrica: 400 V, 32A, 50 Hz Aria compressa: 6 bar, senza acqua ed olio Gas di processo: 1 a 1,5 bar Potenza: max. 8,5 kW Acqua di raffredd: 2 a 3 bar, 6 a 11 l/min.
Peso: ca. 360 kg, senza pompe di vuoto
Pompa di vuoto: Sistema di pompe di vuoto
Sicurezza: Conforme alle norme e regolazione valide nella CE

Optional

Stampanti e Modem: Stampante e modem per manutenzione e diagnostica a distanza

Documenti allegati:

Meccaniche PECVD
Plasma Unit Type CVD-DOMINO